Аннотация:
Описано ионно-плазменное получение покрытий из аморфного кремния, содержащего наночастицы серебра размером 20–30 nm, приведены результаты рентгено-дифрактометрических и электронно-микроскопических исследований, рассмотрен механизм возникновения наночастиц серебра размером 20–30 nm из нанокластеров размером 2–3 nm.