Эта публикация цитируется в 12 статьях

Зигзагообразные структуры, полученные анизотропным травлением макропористого кремния

А. В. Черниенко, Е. В. Астрова, Ю. А. Жарова

Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук, г. Санкт-Петербург

Аннотация: Продемонстрировано получение высокоаспектных структур с тонкими гофрированными стенками путем обработки макропристого кремния с тригональной решеткой в анизотропных травителях. Для этого перед электрохимическим травлением создается определенная ориентация рисунка затравочных ямок относительно кристаллографических осей и применяется определенный состав раствора для обработки макропор после анодирования. Обсуждается возможность применения зигзагообразных структур в качестве анодов литий-ионных аккумуляторов.

Поступила в редакцию: 23.05.2013

 Англоязычная версия: Technical Physics Letters, 2013, 39:11, 990–993

Реферативные базы данных:

•