Эта публикация цитируется в 5 статьях

Формирование текстуры (200) и (110) в пленках железа, полученных магнетронным распылением

А. С. Джумалиев, Ю. В. Никулин, Ю. А. Филимонов

Саратовский филиал Института радиотехники и электроники им. В. А. Котельникова РАН

Аннотация: Исследовано влияние давления рабочего газа на текстуру пленок железа, полученных на подложках Si(100)/SiO$_2$ магнетронным распылением при комнатной температуре. Показано, что изменение давления рабочего газа от 1.33 до 0.09 Pa приводит к смене текстуры пленок от (110) к (200), что также сопровождается переходом от столбчатой микроструктуры пленок к квазиоднородной. Показано, что шероховатость поверхности пленки зависит от давления рабочего газа немонотонно и имеет максимум в интервале давлений, отвечающих сосуществованию в пленке фаз с текстурами (110) и (200).

Поступила в редакцию: 23.04.2013

 Англоязычная версия: Technical Physics Letters, 2013, 39:11, 938–941

Реферативные базы данных:

•