Эта публикация цитируется в 1 статье

Изменения элементного состава и микроструктуры мишени YBa$_2$Cu$_3$O$_{7-\delta}$ при магнетронном распылении

Д. В. Мастеров, М. Н. Дроздов, Ю. Н. Дроздов, С. А. Павлов, А. Е. Парафин, П. А. Юнин

Институт физики микроструктур РАН, г. Нижний Новгород

Аннотация: Методом рентгенофазового анализа и вторично-ионной масс-спектрометрии исследованы мишени высокотемпературного сверхпроводника YBa$_2$Cu$_3$O$_{7-\delta}$, подвергшиеся ионно-плазменному распылению в магнетронной напылительной системе. Установлено, что в процессе магнетронного распыления на постоянном токе происходят диффузионное обеднение по кислороду и структурная перестройка поверхности мишени, вызываемые радиационным и тепловым воздействием бомбардирующих ионов. Предполагается, что такие изменения в мишени являются причиной снижения скорости роста YBa$_2$Cu$_3$O$_{7-\delta}$ пленок.

Поступила в редакцию: 13.05.2013

 Англоязычная версия: Technical Physics Letters, 2013, 39:10, 862–865

Реферативные базы данных:

•