Эта публикация цитируется в 14 статьях

Шероховатость пленок аморфного, поликристаллического кремния и поликристаллического кремния с полусферическими зернами

А. В. Новак^ab, В. Р. Новак<sup>ab

a</sup> Национальный исследовательский университет "МИЭТ"
^b Научно-исследовательский институт физических проблем им. Ф.В. Лукина, Зеленоград

Аннотация: Изучены шероховатость, пространственные и корреляционные свойства поверхности для трех характерных типов LPCVD пленок кремния: аморфных и поликристаллических, имеющих относительно “гладкую” поверхность, и поликристаллических пленок с полусферическими зернами (HSG-Si), имеющих значительную шероховатость поверхности, посредством атомно-силовой микроскопии. Из анализа корреляционной функции и функции спектральной плотности мощности найдено, что для описания морфологии пленок аморфного и поликристаллического кремния подходит модель самоаффинной поверхности, тогда как для HSG-Si пленок – модель “холмообразной” поверхности.

Поступила в редакцию: 14.05.2013

 Англоязычная версия: Technical Physics Letters, 2013, 39:10, 858–861

Реферативные базы данных:

•