Эта публикация цитируется в 4 статьях

Исследование субмикронных полостей в углеситалле методом фокусированного ионного пучка

Р. Л. Волков^ab, Н. И. Боргардт^ab, В. Н. Кукин^ab, А. В. Агафонов^ab, В. О. Кузнецов<sup>ab

a</sup> Национальный исследовательский университет "МИЭТ", Москва, Зеленоград
^b ЗАО "ТРИ Карбон", Москва, Зеленоград

Аннотация: Метод фокусированного ионного пучка применен для формирования серии параллельных сечений и последующей трехмерной визуализации полостей в углеситалле, измерениях их объемов и определения локальной пористости материала. На основе полученных данных оценена погрешность определения локальной пористости углеситалла по одному сечению. С использованием этих сечений установлено, что пористость в технологических заготовках углеситалла уменьшается по мере его роста в вертикальных коаксиальных реакторах.

Поступила в редакцию: 01.03.2013

 Англоязычная версия: Technical Physics Letters, 2013, 39:9, 822–824

Реферативные базы данных:

•