Аннотация:
Методами оптической спектроскопии, комбинационного рассеяния света (КРС) и оптической дифрактометрии исследована модификация параметров фазового перехода изолятор-металл в пленках VO$_2$ при бомбардировке потоком электронов средних энергий (6–10 keV). Показано, что рост дозы облучения приводит к понижению температуры фазового перехода, увеличению коэффициента отражения и уменьшению его скачка, замене фононных пиков спектра КРС моноклинной фазы широкими полосами, характерными для тетрагональной фазы, и сдвигу особенностей спектра отражения на 65 nm в коротковолновую область. Механизм процесса модификации связывается с генерацией в кристаллической решетке VO$_2$ кислородных вакансий с донорными свойствами.