О преимуществах использования рентгеновских схем с ортогональными дифракционными векторами для изучения структурного состояния ионно-плазменных покрытий
Аннотация:
Для изучения структурного состояния ионно-плазменных покрытий квазибинарной системы Ti–W–B предложено использовать две взаимодополняющие рентгенодифракционные схемы съемки с ортогональными дифракционными векторами: с дифракционным вектором, параллельным нормали к поверхности покрытия, и с дифракционным вектором, перпендикулярным к нормали покрытия, т. е. параллельным плоскости поверхности роста. Использование такой методики позволило выявить и проанализировать анизомерность кристаллитов при разных температуре и толщине формируемого слоя, а также проанализировать напряженно-деформированное состояние. Предложены модели для описания выявленных закономерностей роста кристаллитов.