Аннотация:
Разработана методика экспресс-диагностики светодиодных гетероструктур InGaN/GaN с множественными квантовыми ямами. Создана автоматизированная установка, позволяющая на основе фотоэлектрических измерений при комнатной температуре проводить анализ относительного расположения квантовых ям в гетероструктуре, качества гетероинтерфейсов и степени локализации носителей заряда в ямах. Время измерения одной гетероструктуры составляет доли секунды. Разработанная методика имеет ряд преимуществ по сравнению с широко используемым методом вольт-фарадного профилирования структур с квантовыми ямами.