Особенности структурирования поверхности кристаллов кремния (100) при СВЧ плазменной обработке в различных газовых средах

В. Я. Шаныгин, Р. К. Яфаров

Саратовский филиал Института радиотехники и электроники им. В. А. Котельникова РАН

Аннотация: Исследованы закономерности влияния режимов СВЧ плазменной обработки на наноморфологию поверхности монокристаллов кремния кристаллографической ориентации (100) с естественным оксидным покрытием. Рассмотрены модельные механизмы процессов наноструктурирования поверхности при плазменной обработке в газовых средах с различной селективностью к гетероструктурному материалу подложки.

Поступила в редакцию: 29.05.2012

 Англоязычная версия: Technical Physics Letters, 2013, 39:5, 405–408

Реферативные базы данных:

•