Аннотация:
Приведены результаты анализа зависимости среднего перепада высот от ширины области сканирования и структуры профиля поверхности в атомно-силовой микроскопии (АСМ). На примере среднего перепада высот показано, что при анализе АСМ-данных необходимо выделять локальные и глобальные статистические параметры. При этом локальные статистические параметры могут иметь значения большие, чем глобальные. Для приведенного примера определена функция скейлинга, которая позволяет связать несколько параметров эксперимента для прогнозирования величины среднего перепада высот.