Эта публикация цитируется в 3 статьях

Синтез наноразмерных слоев нитрида алюминия

Л. А. Акашев^ab, Н. А. Попов^ab, В. А. Кочедыков^ab, В. Г. Шевченко<sup>ab

a</sup> Институт химии твердого тела УрО РАН, г. Екатеринбург
^b Институт высокотемпературной электрохимии УРО РАН, г. Екатеpинбуpг

Аннотация: Эллипсометрическим методом исследовано взаимодействие поверхности поликристаллического алюминия с азотом при медленном нагреве до температуры 623$^\circ$C и давлении 1.25 atm. Показано, что процесс образования наноразмерного сплошного слоя нитрида алюминия происходит в интервале температур 520–580$^\circ$C и выше. Максимальная толщина синтезированного наноразмерного слоя нитрида алюминия составляла 32 nm. Образование нитрида на поверхности алюминия подтверждено методом ИК-спектроскопии на порошках с удельной поверхностью 6.4 m$^2$/g.

Поступила в редакцию: 03.09.2012

 Англоязычная версия: Technical Physics Letters, 2013, 39:2, 154–156

Реферативные базы данных:

•