Аннотация:
Описан способ синтеза углеродных пленок при пиролизе метана в электрическом поле на монокристаллических подложках кремния. Выполнены расчеты развиваемых давления и температуры при бомбардировании подложки ионами углерода C$^{-4}$ в процессе пиролиза, значения которых составляют $P\sim$ 1.3 GPa, $T\sim$ 2300 K соответственно. В результате возникают центры образования зародышей для роста кристаллической пленки.
Измерения микротвердости полученных пленок углерода показывают, что она достигает 60–80% от твердости природного алмаза.
Проведено исследование структурного состояния полученного материала методами дифракции рентгеновских лучей, электронной и атомно-силовой микроскопии. Показано, что синтезированные пленки представляют собой композиционный материал, в углеродной матрице которого содержатся выделения другой фазы наноразмерного уровня.