RUS  ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ // Письма в Журнал технической физики // Архив

Письма в ЖТФ, 2013, том 39, выпуск 2, страницы 21–28 (Mi pjtf8385)

Эта публикация цитируется в 3 статьях

Структурное состояние и механические свойства нанокристаллических пленок углерода, полученных при пиролизе метана в электрическом поле

С. К. Брантов, С. И. Божко, И. А. Рыжкин, И. М. Шмытько, В. И. Орлов

Институт физики твердого тела РАН, Черноголовка Московской обл.

Аннотация: Описан способ синтеза углеродных пленок при пиролизе метана в электрическом поле на монокристаллических подложках кремния. Выполнены расчеты развиваемых давления и температуры при бомбардировании подложки ионами углерода C$^{-4}$ в процессе пиролиза, значения которых составляют $P\sim$ 1.3 GPa, $T\sim$ 2300 K соответственно. В результате возникают центры образования зародышей для роста кристаллической пленки.
Измерения микротвердости полученных пленок углерода показывают, что она достигает 60–80% от твердости природного алмаза.
Проведено исследование структурного состояния полученного материала методами дифракции рентгеновских лучей, электронной и атомно-силовой микроскопии. Показано, что синтезированные пленки представляют собой композиционный материал, в углеродной матрице которого содержатся выделения другой фазы наноразмерного уровня.

Поступила в редакцию: 19.06.2012


 Англоязычная версия: Technical Physics Letters, 2013, 39:1, 108–111

Реферативные базы данных:


© МИАН, 2026