Текстура тонких пленок нитрида алюминия, полученных методом магнетронного распыления

В. И. Струнин^ab, Л. В. Баранова^ab, Б. Т. Байсова<sup>ab

a</sup> Омский государственный университет им. Ф. М. Достоевского, Омск, Россия
^b Институт радиофизики и физической электроники, Омский научный центр СО РАН

Аннотация: Представлены результаты исследования текстуры тонких пленок нитрида алюминия, полученных методом магнетронного распыления. Исследована зависимость размеров и степени преимущественной ориентации кристаллитов от условий формирования тонких пленок (давления, мощности разряда, состава плазмообразующего газа).

Ключевые слова: пленки нитрида алюминия, магнетронное распыление, текстура, размер области когерентного рассеяния.

Поступила в редакцию: 06.05.2025
Исправленный вариант: 16.06.2025
Принята в печать: 17.07.2025

DOI: 10.61011/PJTF.2025.20.61402.20368

Реферативные базы данных:

•