Эта публикация цитируется в 19 статьях

Наноиндентирование и деформационные свойства наномасштабных пленок карбида кремния на кремнии

А. С. Гращенко^a, С. А. Кукушкин^ab, А. В. Осипов<sup>a

a</sup> Институт проблем машиноведения РАН, г. Санкт-Петербург
^b Санкт-Петербургский государственный политехнический университет

Аннотация: Предложена модель, описывающая микротвердость системы наномасштабная пленка–подложка в зависимости от глубины погружения индентора. С ее помощью исследованы деформационные характеристики нанометровой пленки карбида кремния, выращенной на кремнии методом замещения атомов. Определены микротвердость карбида кремния и слоя модифицированного кремния. Методом наноиндентирования измерена толщина пленки карбида кремния. Показано хорошее соответствие между данными наноиндентирования и эллипсометрии.

Поступила в редакцию: 24.06.2014

 Англоязычная версия: Technical Physics Letters, 2014, 40:12, 1114–1116

Реферативные базы данных:

•