Эта публикация цитируется в 13 статьях

Прозрачные проводящие тонкие пленки на основе ZnO, полученные магнетронным распылением композитной мишени ZnO : Ga–C

А. Х. Абдуев, А. К. Ахмедов, А. Ш. Асваров

Институт физики им. Х. И. Амирханова ДНЦ РАН, Махачкала

Аннотация: Представлены результаты исследования структуры, электрических и оптических свойств прозрачных проводящих пленок на основе ZnO, легированного галлием, полученных методом магнетронного распыления композитной мишени ZnO : Ga–C. Взаимодействия ZnO с C в тонком поверхностном слое мишени, инициированное ионной бомбардировкой, приводит к увеличению содержания избыточного цинка в составе потока реагентов. Формирование прозрачных проводящих тонких пленок ZnO : Ga при температурах подложки более 100$^\circ$C в условиях наличия избыточного цинка у поверхности роста имеет результатом улучшение структуры и увеличение проводимости пленок без снижения оптического пропускания в видимом диапазоне.

 Англоязычная версия: Technical Physics Letters, 2014, 40:7, 618–621

Реферативные базы данных:

•