Аннотация:
Представлены результаты по созданию и тестированию прочных, химически инертных и высокоострых монокристаллических алмазных зондов для атомно-силовой микроскопии. Зонды изготавливались на основе алмазных пирамидальных монокристаллов, полученных с помощью селективного окисления поликристаллических пленок, выращенных методом газофазного осаждения. Разработана методика закрепления одиночных игл на балках кремниевых зондов. С помощью просвечивающего электронного микроскопа установлено, что угол при вершине алмазных пирамидальных кристаллитов составляет порядка 10$^\circ$, радиус закругления вершины алмазного кристаллита – 2–10 nm. На примере двух тестовых образцов (поверхности графита и молекул ДНК) показано, что изготовленные алмазные зонды могут эффективно использоваться в атомно-силовой микроскопии и позволяют улучшить качество изображений по сравнению со стандартными кремниевыми зондами.