Н. П. Абаньшин, Б. И. Горфинкель, С. П. Морев, Д. С. Мосияш, А. Н. Якунин, “Исследование процесса формирования углеродной наноразмерной автоэмиссионной структуры с ионной защитой”, Письма в ЖТФ, 2014, том 40, выпуск 9,страницы 86

Эта публикация цитируется в 6 статьях

Исследование процесса формирования углеродной наноразмерной автоэмиссионной структуры с ионной защитой

Н. П. Абаньшин^a, Б. И. Горфинкель^a, С. П. Морев^a, Д. С. Мосияш^a, А. Н. Якунин^ab

^a ООО "НПП Волга", г. Саратов
^b Институт проблем точной механики и управления РАН, г. Саратов

Аннотация: Приведены результаты теоретического и экспериментального исследования критичности технологического процесса формирования наноразмерных лезвий из $\alpha$-углерода планарных автоэмиссионных структур с ионной защитой. Показано, что разработанная технология обеспечивает надежность управления процессом. Обнаружена слабая зависимость уровня напряженности в области острия эмиттера структуры от длины “козырька” лезвия, что способствует хорошей воспроизводимости ее параметров.

Поступила в редакцию: 09.01.2014