Аннотация:
Исследовано биполярное резистивное переключение в структурах “металл–диэлектрик–металл” на основе двухслойного диэлектрика, состоящего из слоя стабилизированного оксидом иттрия диоксида циркония (YSZ – yttria-stabilized zirconia) c содержанием Y$_2$O$_3$ 12 mol.% и слоя GeO$_x$. Показано, что встраивание в структуру дополнительного слоя GeO$_x$ приводит к существенному уменьшению разброса параметров резистивного переключения как при отрицательном, так и при положительном напряжениях. Структуры Au/Zr/GeO$_x$/YSZ/TiN демонстрируют высокую стабильность отношения сопротивлений в высокоомном и низкоомном состояниях в процессе циклического переключения. Исследованные структуры могут быть использованы для создания элементов энергонезависимой памяти нового поколения.