С. П. Зинченко, А. П. Ковтун, Г. Н. Толмачев, “Особенности роста пленок в тлеющем разряде с убегающими электронами”, Письма в ЖТФ, 2014, том 40, выпуск 1,страницы 43

Эта публикация цитируется в 2 статьях

Особенности роста пленок в тлеющем разряде с убегающими электронами

С. П. Зинченко^ab, А. П. Ковтун^ab, Г. Н. Толмачев^ab

^a Южный научный центр РАН, г. Ростов-на-Дону
^b Южный федеральный университет, г. Ростов-на-Дону

Аннотация: При напылении пленок в газовом разряде с пучком убегающих электронов впервые обнаружено аномальное поведение интенсивности отраженного от пленки на подложке зондирующего оптического излучения после выключения разряда. Интерпретация этого явления дается в рамках двухслойной модели роста пленки на подложке: в ходе напыления на поверхности пленки образуется оптически однородный поверхностный слой неизвестной природы, который полностью распадается после выключения разряда.

Поступила в редакцию: 16.07.2013