Аннотация:
Исследовано влияние типа несущего газа на характер формирования слоев $p$-GaN на гранях (0001), $(11\bar20)$ и $(11\bar22)$ мезаполосковой структуры, сформированной с использованием метода селективной эпитаксии. На гранях $(0001)$ и $(11\bar20)$ мезаполосковой структуры прямоугольного сечения сформирована светодиодная структура с активной областью на основе квантовых ям InGaN/GaN. Созданы прототипы светодиодов на свободных полосках GaN, отделенных от подложки.