Исследование влияния маломодовой структуры поля на параметры $Y$-делителей фотонной интегральной схемы

П. В. Волков^a, О. С. Вязанкин^a, А. И. Бобров^b, А. В. Нежданов^b, Д. А. Семиков^a, К. В. Сидоренко<sup>b

a</sup> Институт физики микроструктур РАН, Нижний Новгород, Россия
^b Нижегородский государственный университет им. Н. И. Лобачевского, Нижний Новгород, Россия

Аннотация: Рассмотрено влияние маломодового режима работы кремниевых интегральных волноводов на параметры $Y$-делителей с гребенчатой геометрией, созданных на платформе кремний на изоляторе. Показано, что возникающая при заращивании оксидом кремния канального кремниевого волновода общепринятых размеров 500 $\times$ 220 nm мода TE$_{10}$ приводит к резкому изменению параметров $Y$-делителей, причем коэффициент деления начинает зависеть от взаимного расположения оптического волокна, подводящего излучение к фотонной интегральной схеме, и узла ввода излучения.

Ключевые слова: фотонная интегральная схема, кремний на изоляторе, гребенчатые волноводы, канальные волноводы, интегральные делители.

Поступила в редакцию: 21.01.2025
Исправленный вариант: 02.07.2025
Принята в печать: 04.07.2025

DOI: 10.61011/PJTF.2025.19.61145.20261

Реферативные базы данных:

•