Ускоряющее действие напряжений на кинетику кристаллизации ионно-имплантированных слоев кремния при импульсном нагреве

Л. Н. Александров

Институт физики полупроводников СО АН СССР, Новосибирск

Поступила в редакцию: 30.11.1984

Реферативные базы данных:

•