Аннотация:
При варьировании длительности и энергии ультракороткого лазерного импульса ближнего ИК-диапазона продемонстрировано, что при лазерной микрообработке поверхности кремния размеры микромодификации, а также порог оптического пробоя в первую очередь определяются влиянием лавинной ионизации. Лазерно-индуцированная микромодификация состоит из двух зон: центральной, размер которой логарифмически зависит от энергии лазерного импульса $E$, и периферийной области, размер которой пропорционален $E^{1/2}$. Данные области характеризуются разным количеством кристаллической фазы кремния. При использовании скоростных уравнений показано, что такая зависимость обусловлена увеличением вклада лавинной ионизации при изменении длительности импульса от 200 fs до 2 ps (порог пробоя изменяется от $\sim$ 0.2 до 0.22 J/cm$^2$).
Полный текст:
PDF файл (400 kB)