А. А. Павлов, Д. Г. Громов, С. Н. Скорик, А. Ю. Трифонов, А. С. Шулятьев, “CVD-рост углеродных нанотрубок на тонкопленочном катализаторе из сплава Ni$_{20}$Ti$_{35}$N$_{45}$”, Письма в ЖТФ, 2015, том 41, выпуск 24,страницы 37

Эта публикация цитируется в 3 статьях

CVD-рост углеродных нанотрубок на тонкопленочном катализаторе из сплава Ni$_{20}$Ti$_{35}$N$_{45}$

А. А. Павлов^a, Д. Г. Громов^b, С. Н. Скорик^c, А. Ю. Трифонов^d, А. С. Шулятьев^b

^a Институт нанотехнологий микроэлектроники РАН
^b Национальный исследовательский университет "МИЭТ"
^c НПК "Технологический Центр" МИЭТ
^d Государственный научно-исследовательский институт физических проблем имени Ф. В. Лукина

Аннотация: Продемонстрирована возможность формирования массивов углеродных нанотрубок на каталитическом сплаве Ni–Ti–N с низким содержанием никеля методом химического осаждения из газовой фазы. Добавление азота в состав сплава Ni–Ti способствует образованию соединения TiN и выдавливанию Ni на поверхность, на которой он оказывает каталитическое действие при росте УНТ. Показано, что при использовании ацетилена и температуре подложки 650$^\circ$C вырастает массив УНТ высотой 9 $\mu$m в течение 2 min.

Поступила в редакцию: 08.07.2015