Аннотация:
В результате осаждения наноструктурного многокомпонентного покрытия (TiZrHfVNbTa)N обнаружено формирование фазы с
ГЦК-решеткой структурного типа NaCl. Увеличение давления приводит к изменению преимущественной ориентации роста кристаллитов от перпендикулярной плоскости роста оси [100] к [111]. Имплантация отрицательных ионов Au$^-$ дозой 1 $\cdot$ 10$^{17}$ cm$^{-2}$ и концентрацией 2.1 at.% приводит к формированию разупорядоченной поликристаллической структуры без преимущественной ориентации ГЦК-фазы, уменьшает размер нанокристаллитов с 8 до 1–3 nm в слое глубиной до 30–35 nm и увеличивает нанотвердость до 33.0 GPa. Большое различие атомных радиусов тугоплавких металлов и уменьшение размеров нанозерен в покрытии способствуют формированию высокой твердости 51 GPa.