Аннотация:
Обоснована возможность разделения информации о дефектах подложки и периодической микроструктуры при их визуализации для композитного дифракционного элемента. Впервые показано, что с использованием двухлучевого интерферометра, дополненного оптической системой пространственной фильтрации, для такого дифракционного элемента возможно раздельное отображение в интерференционных картинах как макроскопических дефектов подложки, так и самой дифракционной микроструктуры.