Эта публикация цитируется в 21 статьях

Моделирование распыления материалов фокусированным ионным пучком

Н. И. Боргардт, Р. Л. Волков, А. В. Румянцев, Ю. А. Чаплыгин

Национальный исследовательский университет "МИЭТ"

Аннотация: Описание эволюции поверхности образца под воздействием фокусированного ионного пучка выполнено методом функций уровня в рамках модели, которая учитывает эффекты переосаждения атомов, первично распыленных падающими ионами. Для достижения количественного соответствия результатов моделирования экспериментальным данным на основе специально выполненных экспериментов уточнены как форма ионного пучка, так и модель распыления им вторично осажденного материала. На примере углублений прямоугольной формы показано, что развитый подход позволяет с хорошей точностью моделировать рельеф поверхности, формирующийся под воздействием фокусированного ионного пучка.

Поступила в редакцию: 13.01.2015

 Англоязычная версия: Technical Physics Letters, 2015, 41:6, 610–613

Реферативные базы данных:

•