Эта публикация цитируется в 8 статьях

Электрическая пассивация поверхности кремния полиэлектролитным покрытием

С. В. Стецюра, А. В. Козловский, И. В. Маляр

Саратовский государственный университет им. Н. Г. Чернышевского

Аннотация: Исследовано влияние монослоя катионного полиэлектролита на электрофизические параметры монокристаллического кремния с дырочным типом проводимости и разным уровнем легирования. Показано, что для $p$-Si метод фотостимулированной адсорбции полиэлектролита позволяет дополнительно уменьшить эффективную плотность поверхностных электронных состояний на порядок по сравнению с пассивацией в результате адсорбции полиэлектролита в темноте, при этом максимальные изменения наблюдаются для характеристических времен “быстрых” состояний в $p$-Si с более высоким уровнем легирования.

Поступила в редакцию: 04.08.2014

 Англоязычная версия: Technical Physics Letters, 2015, 41:2, 168–171

Реферативные базы данных:

•