Самокаталитический рост GaInP-наноструктур на кремнии из паровой фазы

Л. Б. Карлина^a, А. С. Власов^a, Р. В. Левин^a, А. В. Малевская^a, В. В. Забродский^a, И. П. Сошников<sup>abc

a</sup> Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук, Санкт-Петербург, Россия
^b Санкт-Петербургский национальный исследовательский академический университет имени Ж. И. Алфёрова Российской академии наук, Санкт-Петербург, Россия
^c Институт аналитического приборостроения РАН, Санкт-Петербург, Россия

Аннотация: Представлены результаты исследования нитевидных наноструктур GaInP, впервые полученных методом самокаталитического роста из насыщенных паров фосфора и индия в квазизамкнутом объеме на подложках кремния ориентации (111). Методами растровой электронной микроскопии изучены морфология и состав полученных структур. Обнаружено, что присутствие кремния в каталитических каплях галлия оказывает влияние на морфологию, состав наноструктур. Исследованы колебательные свойства полученных наноструктур.

Ключевые слова: нитевидные наноструктуры GaInP, рост механизма пар-жидкость-кристалл из паровой фазы, A$_3$B$_5$ на Si.

Поступила в редакцию: 22.11.2024
Исправленный вариант: 16.01.2024
Принята в печать: 20.01.2024

DOI: 10.61011/PJTF.2025.09.60233.20194

Реферативные базы данных:

•