Аннотация:
Путем периодического изменения содержания кислорода в составе рабочего газа в процессе высокочастотного магнетронного распыления мишени на основе In$_2$O$_3$ с добавкой 10 wt.% ZnO (IZO) получены тонкопленочные прозрачные периодические структуры высокой проводимости с градиентной модуляцией содержания кислорода по толщине. Исследована температурная стабильность электрических характеристик полученных структур при отжигах в вакууме и открытой атмосфере. Установлено, что в результате обоих отжигов сопротивление структуры растет. Показано, что при атмосферном отжиге рост сопротивления происходит преимущественно за счет снижения концентрации свободных электронов, обусловленного нейтрализацией вакансионных донорных центров атмосферным кислородом, а при вакуумном отжиге – за счет снижения их подвижности, обусловленного разрушением модулированной структуры пленки.
Полный текст:
PDF файл (480 kB)