Моделирование роста заостренных нитевидных нанокристаллов на маскированных подложках

Е. Д. Лещенко^a, В. Г. Дубровский<sup>b

a</sup> НТЦ микроэлектроники РАН, Санкт-Петербург, Россия
^b Санкт-Петербургский государственный университет, Санкт-Петербург, Россия

Аннотация: Проведено теоретическое исследование формирования автокаталитических нитевидных нанокристаллов на маскированных подложках в отсутствие радиального роста. Модель позволяет проводить расчеты радиуса наноструктур как функции их длины и описывать морфологию заостренных нитевидных нанокристаллов. Изучено влияние на морфологию нитевидных нанокристаллов различных параметров, в том числе соотношения потоков III/V и расстояния между наноструктурами.

Ключевые слова: нитевидные нанокристаллы III–V, морфология, эффект самофокусировки, моделирование.

Поступила в редакцию: 09.09.2022
Исправленный вариант: 09.09.2022
Принята в печать: 10.10.2022

DOI: 10.21883/PJTF.2022.23.53945.19358

Реферативные базы данных:

•