Кинетика радиального роста нитевидных нанокристаллов полупроводниковых соединений III–V при газофазной эпитаксии

В. Г. Дубровский, С. В. Микушев

Санкт-Петербургский государственный университет, Санкт-Петербург, Россия

Аннотация: Предложена модель радиального роста нитевидных нанокристаллов (ННК) полупроводниковых соединений групп III–V методом газофазной эпитаксии на маскированных подложках, позволяющая проводить расчеты радиуса ННК как функции его длины. Получены аналитические решения для радиуса ННК на различных стадиях роста. Проведено сравнение результатов модели с экспериментальными данными по кинетике роста ННК GaAs и показано их хорошее согласие.

Ключевые слова: нитевидные нанокристаллы III–V, радиальный рост, газофазная эпитаксия, моделирование.

Поступила в редакцию: 12.08.2022
Исправленный вариант: 12.08.2022
Принята в печать: 02.09.2022

DOI: 10.21883/PJTF.2022.20.53694.19340

Реферативные базы данных:

•