Новый метод изображения микрообъектов в синхротронном излучении с использованием нанофокусировки и томографии

В. Г. Кон^a, Т. С. Аргунова<sup>b

a</sup> Национальный исследовательский центр "Курчатовский институт", Москва, Россия
^b Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук, Санкт-Петербург, Россия

Аннотация: Предложен новый метод исследования внутренней структуры микрообъектов с помощью синхротронного излучения, основанный на поглощении. Метод регистрирует интегральную интенсивность излучения после прохождения объекта, а локальность определяется фокусировкой пучка в линию нанометровой ширины с помощью преломляющей линзы. При этом фазовый контраст не используется, результат получается сразу, а двумерное изображение объекта, т. е. зависимость его толщины от поперечных координат, вычисляется методом томографии. Метод не нуждается в сложных математических расчетах и дает результат с весьма высокой точностью. Для иллюстрации выполнена симуляция эксперимента с подложкой карбида кремния для типичных значений остальных параметров.

Ключевые слова: синхротронное излучение, микрообъекты, нанофокусировка, томография, микропоры.

Поступила в редакцию: 03.08.2022
Исправленный вариант: 19.08.2022
Принята в печать: 22.08.2022

DOI: 10.21883/PJTF.2022.19.53593.19333

Реферативные базы данных:

•