Исследование прочности тонких пластин кремния в зависимости от методов обработки их поверхности при утонении

В. А. Козлов^ab, В. И. Николаев^a, В. В. Шпейзман^a, Р. Б. Тимашов^a, А. О. Поздняков^a, С. И. Степанов<sup>a

a</sup> Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук, Санкт-Петербург, Россия
^b ЗАО НПО "Фид-Техника", Санкт-Петербург, Россия

Аннотация: Исследована механическая прочность кремниевых пластин толщиной 100 $\mu$m. Нагружение пластин проводилось методом “кольцо-в-кольцо”, величина напряжений и прогиба под малым кольцом определялась путем конечно-элементного моделирования. Справедливость расчетной модели проверялась по сравнению зависимостей прогиба под малым кольцом от нагрузки, полученных в эксперименте и при моделировании. Показана зависимость прочности от способов получения и обработки пластин, а также ее связь с характеристиками шероховатости поверхности.

Ключевые слова: кремний, прочность, химико-механическая обработка, шероховатость поверхности.

Поступила в редакцию: 04.05.2022
Исправленный вариант: 07.07.2022
Принята в печать: 18.07.2022

DOI: 10.21883/PJTF.2022.17.53284.19244

Реферативные базы данных:

•