В. И. Николаев, А. В. Алмаев, Б. О. Кушнарев, А. И. Печников, С. И. Степанов, А. В. Чикиряка, Р. Б. Тимашов, М. П. Щеглов, П. Н. Бутенко, Е. В. Черников, “Газочувствительные свойства пленок твердого раствора In$_2$O$_3$–Ga$_2$O$_3$”, Письма в ЖТФ, 2022, том 48, выпуск 14,страницы 37

Газочувствительные свойства пленок твердого раствора In$_2$O$_3$–Ga$_2$O$_3$

В. И. Николаев^ab, А. В. Алмаев^cd, Б. О. Кушнарев^d, А. И. Печников^ab, С. И. Степанов^ab, А. В. Чикиряка^a, Р. Б. Тимашов^a, М. П. Щеглов^a, П. Н. Бутенко^ad, Е. В. Черников^dc

^a Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук, Санкт-Петербург, Россия
^b ООО "Совершенные кристаллы", Санкт-Петербург, Россия
^c ООО "Фокон", Калуга, Россия
^d Национальный исследовательский Томский государственный университет, Томск, Россия

Аннотация: Исследовано влияние состава газовой среды на электропроводящие свойства пленок In$_2$O$_3$–Ga$_2$O$_3$, полученных методом хлоридной газофазной эпитаксии. В интервале температур 100–550$^\circ$C пленки In$_2$O$_3$–Ga$_2$O$_3$ проявляют высокую чувствительность к H$_2$, NH$_3$ и CO, характеризуются высоким быстродействием и низким базовым сопротивлением. Предложен качественный механизм чувствительности пленок In$_2$O$_3$–Ga$_2$O$_3$ к газам.

Ключевые слова: In$_2$O$_3$–Ga$_2$O$_3$, хлоридная газофазная эпитаксия, газовая чувствительность.

Поступила в редакцию: 01.04.2022
Исправленный вариант: 18.05.2022
Принята в печать: 06.06.2022

DOI: 10.21883/PJTF.2022.14.52869.19211