Нанесение аморфного металлического покрытия на полые стеклянные микросферы

А. Ф. Паль, А. Н. Рябинкин, А. О. Серов

Московский государственный университет имени М. В. Ломоносова, Научно-исследовательский институт ядерной физики им. Д. В. Скобельцына, Москва, Россия

Аннотация: С помощью магнетронного распыления на постоянном токе получены аморфные и кристаллические металлические покрытия Pt–Zr на стеклянных полых тонкостенных сферах с диаметром в субмиллиметровом диапазоне при средней скорости нанесения 0.1 nm/s. Шероховатость полученных аморфных покрытий значительно ниже, чем у кристаллических покрытий того же состава, и находится в диапазоне 1–1.5 nm.

Ключевые слова: металлические стекла, аморфные металлические пленки, магнетронное распыление, стеклянные микросферы, мишени для инерциального синтеза.

Поступила в редакцию: 29.12.2021
Исправленный вариант: 29.12.2021
Принята в печать: 11.01.2022

DOI: 10.21883/PJTF.2022.06.52212.19120

Реферативные базы данных:

•