Аннотация:
Разработан кремниевый лавинный фотодиод для регистрации ближнего инфракрасного, видимого, ультрафиолетового и вакуумного ультрафиолетового спектров. Проведено исследование внешнего квантового выхода кремниевого лавинного фотодиода в диапазоне длин волн 114–170 и 210–1100 nm. Показано, что лавинный фотодиод обладает внешним квантовым выходом от 29 до 9300 electrons/photon на длине волны 160 nm при напряжении обратного смещения 190–303 V соответственно.