Исследование структурных и отражательных характеристик многослойных рентгеновских зеркал на основе пары материалов Ru/B

Р. А. Шапошников, В. Н. Полковников, Н. И. Чхало, С. А. Гарахин

Институт физики микроструктур РАН, Нижний Новгород, Россия

Аннотация: Приводятся результаты исследования отражательных характеристик на длинах волн 0.154, 0.989 и 1.759 nm и восстановленных по этим данным структурных характеристик многослойных рентгеновских зеркал Ru/B без прослоек и с прослойками углерода. Нанесение прослоек С на границы B на Ru привело к уменьшению ширины переходной области с 0.69 до 0.37 nm. Коэффициент отражения Ru/C/B на длине волны 6.65 nm, рассчитанный с использованием полученных структурных параметров зеркал, составил рекордное значение 68.9%.

Ключевые слова: многослойные рентгеновские зеркала, синхротронные приложения, монохроматоры рентгеновского излучения, рентгеновская литография.

Поступила в редакцию: 30.07.2024
Исправленный вариант: 28.08.2024
Принята в печать: 04.09.2024

DOI: 10.61011/PJTF.2025.01.59524.20075

Реферативные базы данных:

•