Аннотация:
Продемонстрировано расширение возможностей метода плазменной электронной спектроскопии для анализа сложных химических соединений и их фрагментов. Поскольку энергии регистрируемых пеннинговских электронов различны для разных химических соединений, важным преимуществом используемого метода является возможность одновременной (за одно измерение) регистрации различных примесей. Разработанный микроплазменный детектор может служить прототипом газоанализатора, основанного на нелокальной плазме отрицательного свечения короткого тлеющего разряда в гелии.
Ключевые слова:
метод плазменной электронной спектроскопии, функция распределения электронов по энергиям, анализ газов, диагностика плазмы.
Поступила в редакцию: 15.05.2023 Исправленный вариант: 24.08.2023 Принята в печать: 30.10.2023