Зеленовато-белое излучение микростенок ZnO, полученных методом магнетронного распыления горячей мишени

А. П. Тарасов^a, А. М. Исмаилов^b, А. Э. Муслимов<sup>a

a</sup> Институт кристаллографии им. А. В. Шубникова РАН, Москва, Россия
^b Дагестанский государственный университет, Махачкала, Россия

Аннотация: Впервые исследованы процессы формирования двумерных микроструктур ZnO, полученных методом магнетронного распыления горячей мишени. Полученные микроструктуры обладали морфологией многослойных стенок толщиной 1–2 $\mu$m и характеризовались присутствием пор размерами до 10 $\mu$m. С помощью методов спектроскопии в УФ- и видимом диапазонах, а также фотолюминесцентной спектроскопии обнаружена существенная модификация оптических свойств структур в результате термообработки. В частности, отжиг приводил к значительному усилению узкой полосы краевой УФ-люминесценции, а также к появлению интенсивной полосы видимого излучения. Достаточно длинноволновое положение (максимум соответствует $\sim$ 545 nm) и большая ширина (FWHM $\sim$ 140 nm) этой полосы служат причиной визуально наблюдаемого яркого белого свечения с зеленым оттенком.

Ключевые слова: оксид цинка, горячая мишень, магнетронное распыление, двумерные структуры, микростенки, белая люминесценция, источник белого света.

Поступила в редакцию: 15.08.2023
Исправленный вариант: 09.09.2023
Принята в печать: 13.09.2023

DOI: 10.61011/PJTF.2023.22.56590.19707

Реферативные базы данных:

•