Аннотация:
Показано использование сгустков дейтронов (числом до 10$^{13}$ за выстрел), коллективно ускоренных в диоде Люса до средней энергии 1200 $\pm$ 200 keV, для радиоактивационного определения стехиометрии покрытий AlN с известной толщиной. В каждом выстреле энергия дейтронов определялась измерением скорости дрейфа виртуального катода, коллективно ускоряющего сгустки дейтронов, а стехиометрия покрытия определялась с точностью не хуже $\pm$ 5% по соотношению активностей радионуклидов $^{28}$Al/$^{15}$O, индуцированных в ядерных реакциях $^{27}$Al$(d,p)$$^{28}$Al и $^{14}$N$(d,n)$$^{15}$O соответственно.