Эта публикация цитируется в 4 статьях

Преимущественное распыление сплава NiTi атомарными и кластерными ионами

А. Е. Иешкин^a, В. С. Черныш^a, Д. С. Киреев^a, Б. Р. Сенатулин^b, Е. А. Скрылева<sup>b

a</sup> Московский государственный университет имени М. В. Ломоносова, Москва, Россия
^b Национальный исследовательский технологический университет "МИСиС", Москва, Россия

Аннотация: С помощью рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии проведены исследования эволюции состава поверхности сплава NiTi под действием бомбардировки атомарными и кластерными ионами аргона. Как для атомарных, так и для кластерных ионов обнаружено сильное обогащение приповерхностного слоя никелем, не согласующееся с современными представлениями о преимущественном распылении. Обсуждаются возможные причины такого результата.

Ключевые слова: ионное распыление, кластерные ионы, преимущественное распыление, рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия.

Поступила в редакцию: 01.12.2022
Исправленный вариант: 11.01.2023
Принята в печать: 17.04.2023

DOI: 10.21883/PJTF.2023.11.55536.19447

Реферативные базы данных:

•