Моделирование распыления многослойных подложек фокусированным ионным пучком

А. В. Румянцев, Н. И. Боргардт, Р. Л. Волков

Национальный исследовательский университет "МИЭТ", Зеленоград, Москва, Россия

Аннотация: Метод функций уровня обобщен для моделирования эволюции поверхности многослойных подложек при воздействии фокусированного ионного пучка. Для корректного описания такого воздействия при проведении расчетов принимались во внимание угловые зависимости коэффициентов распыления, плотности облучаемых материалов и учитывалось, что вылет распыленных атомов может происходить из разных слоев подложки. Сравнением результатов расчетов с экспериментальными данными для тестовых углублений, изготовленных в двухслойной подложке диоксид кремния-кристаллический кремний, показано, что развитый метод моделирования позволяет с хорошей точностью предсказывать форму структур, создаваемых фокусированным ионным пучком.

Ключевые слова: фокусированный ионный пучок, распыление, метод функций уровня.

Поступила в редакцию: 21.02.2023
Исправленный вариант: 25.03.2023
Принята в печать: 27.03.2023

DOI: 10.21883/PJTF.2023.10.55433.19533

Реферативные базы данных:

•