Низкоэмиссионные углеродные покрытия для управляющих сеток электровакуумных приборов высокой мощности

Р. К. Яфаров, Н. О. Шабунин

Саратовский филиал Института радиотехники и электроники им. В. А. Котельникова РАН, Саратов, Россия

Аннотация: Исследовано влияние дипольной поляризации углеродных пленочных покрытий на их вторичную эмиссию электронов. Показано, что плазменное фторирование углеродных покрытий с низким удельным поверхностным сопротивлением, полученных в микроволновой плазме паров этанола низкого давления, увеличивает работу выхода электронов на 0.6 eV и уменьшает вторичную электронную эмиссию более чем в 2 раза. Результаты могут быть использованы для получения коллекторов и антиэмиссионных покрытий на сеточных электродах мощных электровакуумных устройств СВЧ- и субтерагерцевого диапазонов.

Ключевые слова: микроволновая плазма, углеродная пленка, плазменное фторирование, работа выхода, вторичная электронная эмиссия.

Поступила в редакцию: 21.04.2022
Исправленный вариант: 27.12.2022
Принята в печать: 28.12.2022

DOI: 10.21883/PJTF.2023.05.54669.19227

Реферативные базы данных:

•