Синтез и структурные свойства тонких пленок YAG:Ce$^{3+}$, полученных методом импульсного лазерного напыления

О. В. Девицкий^ab, А. А. Кравцов<sup>ab

a</sup> Федеральный исследовательский центр Южный научный центр РАН, Ростов-на-Дону, Россия
^b Северо-Кавказский федеральный университет, Ставрополь, Россия

Аннотация: Тонкие пленки YAG:Ce$^{3+}$ синтезированы методом импульсного лазерного напыления. Впервые исследованы зависимости толщины, фазового состава и фотолюминесценции пленок от температуры подложки в процессе синтеза. Показано, что вне зависимости от температуры синтеза в пределах 100–400$^\circ$C полученные пленки имели поликристаллическую структуру. При увеличении температуры подложки наблюдалось увеличение скорости роста пленок. Несмотря на поликристаллическую структуру пленок, после отжига при 900$^\circ$C тонкие пленки YAG:Ce$^{3+}$ демонстрировали выраженную фотолюминесценцию, что открывает возможность их применения в качестве модифицирующих покрытий для фотопреобразователей, а также для детекторов рентгеновского излучения.

Ключевые слова: импульсное лазерное напыление, YAG:Ce$^{3+}$, функциональные покрытия, рентгеновская дифракция, люминесценция.

Поступила в редакцию: 08.11.2022
Исправленный вариант: 15.12.2022
Принята в печать: 16.12.2022

DOI: 10.21883/PJTF.2023.04.54525.19420

Реферативные базы данных:

•