Теоретическая зависимость пороговой энергии распыления мишени от угла падения первичных ионов

А. Н. Пустовит

Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН, Черноголовка, Московская обл., Россия

Аннотация: Для расчета угловой зависимости пороговой энергии распыления от отношения масс мишени и падающих ионов использовано явление блокировки поверхности мишени. Установлено, что угловая зависимость пороговой энергии распыления изменяется обратно пропорционально косинусу угла падения ионов на мишень (отсчет угла от нормали к поверхности мишени) в степени $s/2$ ($s$ – степенной показатель в потенциале взаимодействия сталкивающихся частиц). Проведено сравнение полученных результатов с литературными данными.

Ключевые слова: распыление, пороговая энергия, конус затенения, угол падения ионов.

Поступила в редакцию: 30.03.2022
Исправленный вариант: 22.10.2022
Принята в печать: 04.11.2022

DOI: 10.21883/PJTF.2023.01.54055.19206

Реферативные базы данных:

•