Аннотация:
Исследованы удельное сопротивление, диэлектрическая проницаемость и поле пробоя многослойных пленок алмазоподобного углерода с различным содержанием $sp^3$-фазы, полученных в индуктивно связанной плазме метана. Оказалось, что удельное сопротивление пленок сильно зависит от ростовых параметров, в то время как диэлектрическая проницаемость для всех образцов практически не меняется. В результате измерения зависимостей тока от напряжения и температуры установлен прыжковый тип проводимости, определены средняя длина и энергия активации прыжка. При напряжении выше 1 V происходит непрерывное увеличение тока вплоть до пробоя за счет модификации внутренней структуры пленок.
Полный текст:
PDF файл (158 kB)