Аннотация:
Методом высокочастотного магнетронного распыления композиционных керамических мишеней на основе оксидов цинка и олова с различным соотношением компонентов получены гладкие аморфные слои. Исследована зависимость морфологии, структуры и оптических характеристик низкотемпературных слоев от состава мишени, содержания кислорода в составе рабочего газа, толщины слоев. Минимальный рельеф наблюдается у слоев, полученных при распылении мишени с равным мольным содержанием оксидов цинка и олова. При осаждении ультратонких слоев (толщиной до 15 nm) из потока реагентов с равным содержанием атомов цинка и олова обнаружен эффект так называемого “полирующего” покрытия, когда шероховатость поверхности тонкой пленки меньше, чем у исходной кремниевой подложки.
Полный текст:
PDF файл (858 kB)