А. И. Охапкин, С. А. Краев, П. А. Юнин, С. А. Королев, Д. Б. Радищев, N. Kumar, “Термический отжиг многослойных пленок алмазоподобного углерода с варьируемым содержанием $sp^3$-фазы”, Письма в ЖТФ, 2024, том 50, выпуск 13,страницы 12

Термический отжиг многослойных пленок алмазоподобного углерода с варьируемым содержанием $sp^3$-фазы

А. И. Охапкин^a, С. А. Краев^a, П. А. Юнин^a, С. А. Королев^a, Д. Б. Радищев^b, N. Kumar^c

^a Институт физики микроструктур РАН, Нижний Новгород, Россия
^b Институт прикладной физики им. А.В. Гапонова-Грехова РАН, Нижний Новгород, Россия
^c Институт физики полупроводников им. А. В. Ржанова СО РАН, Новосибирск, Россия

Аннотация: Исследовано влияние термического отжига на фазовый состав, структурные и морфологические свойства многослойных пленок алмазоподобного углерода с варьируемым соотношением $sp^2/sp^3$-фаз. Оказалось, что быстрый отжиг в среде аргона приводит к потере структурной периодичности пленок и увеличению содержания графитовых кластеров наряду с уменьшением доли водорода. Наблюдалось также улучшение морфологии поверхности отожженных образцов по сравнению с исходной пленкой.

Ключевые слова: алмазоподобный углерод, многослойные пленки, плазмохимическое осаждение, термический отжиг.

Поступила в редакцию: 09.02.2024
Исправленный вариант: 12.03.2024
Принята в печать: 21.03.2024

DOI: 10.61011/PJTF.2024.13.58160.19884